自由容器
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损失分析 / LOSS ANALYSIS
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1. 通过各种图表，对各种设备损失进行根本原因分析
2. 管理设备内部损耗：可用性、运营、速率和质量损失
3. 管理设备外部损耗：未成产品的基片、移动损失、开始时间、延迟、产品或工艺程序的频繁变更
4. 图形工作流程，用于定义自定义的损失要求
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设备性能跟踪 / PERFORMANCE MONITERING
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1. 过程和节拍时间分析，用于通过图表进行基片追溯
2. 事件组（LOT、过程、基片、腔室开始/结束）分析
3. 通过使用各种数学库和 SPC 规则，分析和封锁基片追溯时间
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应用场景 / INDUSTRIES